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,主營(yíng):濕式除塵器,布袋除塵設(shè)備,除塵設(shè)備,有機(jī)廢氣處理,廢氣處理設(shè)備! 針對(duì)半導(dǎo)體新材料制造產(chǎn)生的復(fù)雜廢氣 一、廢氣成分分析與處理難點(diǎn) 半導(dǎo)體制造廢氣成分復(fù)雜 酸性氣體:如HCl、HF、NOx,具有強(qiáng)腐蝕性; 有機(jī)廢氣(VOCs):如異丙醇、丙酮,易燃易爆且部分有毒; 特殊氣體:如自燃性硅烷(SiH?) 粉塵顆粒物:可能含重金屬或硅基化合物。 二 需根據(jù)廢氣特性選擇組合工藝 1.預(yù)處理階段 粉塵去除:使用布袋除塵器或靜電除塵裝置 濕度調(diào)節(jié):通過(guò)冷凝或干燥設(shè)備調(diào)整廢氣濕度 2.酸性氣體處理 堿液噴淋塔: 原理:用NaOH或Ca(OH)?溶液吸收HCl 優(yōu)勢(shì):去除效率>95%,適合高風(fēng)量 多級(jí)化學(xué)吸收塔:對(duì)復(fù)雜酸性成分(如硫酸霧)采用多級(jí)噴淋 3.有機(jī)廢氣(VOCs)處理 低濃度VOCs: 活性炭吸附濃縮-催化燃燒:吸附后脫附濃縮,催化燃燒轉(zhuǎn)化為CO?和H?O 沸石轉(zhuǎn)輪吸附-焚燒:適用于大風(fēng)量、低濃度場(chǎng)景 高濃度VOCs:直接焚燒(RTO),分解效率>99% 4.特殊氣體處理(如硅烷) 燃燒分解裝置: 原理:控制硅烷與氧氣比例(如SiH?+2O?→SiO?+2H?O) 關(guān)鍵:配備泄漏監(jiān)測(cè)與自動(dòng)滅火系統(tǒng) 5.深度凈化與排放 干式吸附塔:使用活性炭或分子篩 在線監(jiān)測(cè):安裝CEMS系統(tǒng) 三 技術(shù)融合:如等離子體協(xié)同催化技術(shù),提升低濃度VOCs處理效率 智能化監(jiān)控:AI預(yù)測(cè)設(shè)備故障 通過(guò)上述技術(shù)組合與精細(xì)化管理 鑫藍(lán)環(huán)?div id="jpandex" class="focus-wrap mb20 cf">?萍迹ɡド剑┯邢薰?/span>多年來(lái)專注于新材料廢氣處理設(shè)計(jì)、制造和安裝 詳情請(qǐng)撥打24小時(shí)技術(shù)服務(wù)熱線:180-6841-2162 或訪問(wèn)鑫藍(lán)環(huán)保官網(wǎng):m.msdzf.top 鑫藍(lán)環(huán)保微信公眾號(hào):ksxinlan 鑫藍(lán)環(huán)保科技(昆山)有限公司
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