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光伏行業(yè)—多晶硅生產(chǎn)過程中的廢氣處理設(shè)備

文章出處：原創(chuàng)網(wǎng)責(zé)任編輯：蔡作者：蔡人氣：-發(fā)表時間：2023-12-19 00:00:00【大中小】

隨著光伏行業(yè)的欣欣發(fā)展

，一些問題也逐漸顯露出來
。科學(xué)合理的處理常見太陽能電池

，包括晶體硅、非晶硅

、銅銦鎵硒

、砷化鎵、碲化鎘和染料敏化納米晶太陽能電池在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的各種可能污染物

，如微米/納米顆粒的粉塵和固體廢棄物

；酸堿廢液

、重金屬離子、有機溶劑和納米粒子的液體產(chǎn)物

；粉塵
、煙氣、納米顆粒和化學(xué)氣體的尾氣產(chǎn)物等
，對維護環(huán)境
，維持行業(yè)的健康發(fā)展有非常重大的現(xiàn)實意義。本文將簡要探討多晶硅生產(chǎn)工藝中廢氣處理設(shè)備
。

（1）含氯空氣：主要來源是從液氯鋼瓶或汽化系統(tǒng)設(shè)備、管線泄漏出來的氯氣

入廢氣處理塔的含氯空氣

，在填料層與自上而下的堿液逆流接觸
，氯氣與堿液中的NaOH反應(yīng)生成NaClO、NaCl和H2O而被吸收
。因反應(yīng)放熱
，塔內(nèi)液體和氣體的溫度均有升高。用事故風(fēng)機抽出塔頂經(jīng)處理達標的氣體放空
；出塔底的液體靠位差流入堿液循環(huán)槽，再用堿液循環(huán)泵抽出
，經(jīng)堿液循環(huán)冷卻器用循環(huán)冷卻水冷卻后
，送入廢氣處理塔頂用作吸收劑。當循環(huán)堿液中NaOH濃度降至2%～3%時

，停止使用工作槽中的堿液，切換至堿液循環(huán)備用泵

，將備用槽中貯存的濃度為15%的新鮮NaOH溶液送入廢氣處理塔吸收氯氣
。在備用泵、備用槽系統(tǒng)作吸收操作期間
，原工作泵
、工作槽系統(tǒng)需完成以下工作：用泵將槽內(nèi)含10%NaClO的液體排至次氯酸鈉溶液貯槽貯存，然后將配制好的NaOH溶液送入槽內(nèi)貯存，以備隨后用于氯氣的吸收次氯酸鈉溶液貯槽內(nèi)貯存的10%NaClO溶液
，用泵裝車
，作為商品外售。必要時
，亦可將其送至工藝廢料處理工序處理。15%NaOH溶液的配制
，是將從35%NaOH貯槽送來的濃堿液放入15%堿液配制槽內(nèi)
。向槽中通入一次水，將堿液稀釋至所需濃度
。事故風(fēng)機
、廢氣處理塔、堿液循環(huán)系統(tǒng)保持連續(xù)運轉(zhuǎn)
。

（2）三氯氫硅合成系統(tǒng)廢氣：

出三氯氫硅合成爐的夾帶有硅粉的汽氣混合氣依次進入一

、二

、三級旋風(fēng)除塵器

，氣體中的大部分硅粉被分離下來，隨即落入安裝于下方的三個小集塵罐

。定期把硅塵從小集塵罐中卸到集塵罐中

。定期將罐中硅粉卸出

，送去處理

。

經(jīng)“干法”除塵后的汽氣混合氣進入濕氫處理塔頂部，與同樣從頂部注入的四氯化硅液體混合

，自上而下流動

。從塔下部送入用脫鹽水增濕的氫氣，與塔內(nèi)的氣液混合物接觸

，促使汽氣混合氣中所含的金屬氯化物發(fā)生部分水解

，同時

，汽氣混合氣中的部分細小硅塵被液體四氯化硅洗下，混合氣亦被四氯化硅冷卻

。

從濕氫處理塔下部出來

，含固態(tài)雜質(zhì)的汽氣液混合物進入鼓泡蒸餾釜并被引至液下。氣體鼓泡溢出
，隨后由下而上進入泡塔
，與從塔頂流下的液體四氯化硅逆流接觸

，被進一步冷卻并最終除去細小的硅塵和金屬雜質(zhì)。

出鼓泡塔

，除去了固態(tài)雜質(zhì)的冷卻汽氣混合氣

，壓力為0.2～0.25MPa

，溫度為50～90℃

，被送入汽氣混合氣分離系統(tǒng)（CDI-3）。在該系統(tǒng)內(nèi)

，汽氣混合氣中的氯硅烷被冷凝分離出來

，送入三氯氫硅儲槽，然后被送往三氯氫硅提純工序粗精餾部分的一級精餾塔

。同時，氫氣和氯化氫氣體也從CDI-3系統(tǒng)中分離出來

，兩種氣體分別被送回氯化氫合成工序的氫氣緩沖罐和氯化氫緩沖罐

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4008-616-212

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