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硅烷氣體作為半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的重要廢氣已經(jīng)引起了大的關(guān)注 一 硅烷是一種無色、有刺激性氣味的氣體 二 1.煙囪排放法 煙囪排放法是硅烷氣體處理的一種傳統(tǒng)方法。該方法通過在工廠的煙囪頂部設(shè)置過濾器和噴淋裝置 2.吸附法 吸附法是一種常用的硅烷氣體處理方式 3.燃燒法 燃燒法是一種將硅烷氣體轉(zhuǎn)化為二氧化硅和水蒸氣的處理方法。該方法通過在排放口設(shè)置燃燒裝置 三、硅烷氣體處理的工藝流程 硅烷氣體在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中產(chǎn)生后 收集到的硅烷氣體中通常含有一定的雜質(zhì),需要通過凈化處理將其純化 凈化后的硅烷氣體需要進(jìn)一步轉(zhuǎn)化處理 經(jīng)過上述處理后 鑫藍(lán)環(huán)?div id="jpandex" class="focus-wrap mb20 cf">?萍迹ɡド剑┯邢薰?/span>多年來專注于硅烷廢氣處理設(shè)計(jì)、制造和安裝 詳情請(qǐng)撥打24小時(shí)技術(shù)服務(wù)熱線:180-6841-2162 或訪問鑫藍(lán)環(huán)保官網(wǎng):m.msdzf.top 鑫藍(lán)環(huán)保科技(昆山)有限公司
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