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芯片廢氣處理方法主要依據(jù)廢氣成分的不同而有所區(qū)別 酸性廢氣處理 酸性廢氣主要來(lái)源于芯片清洗和蝕刻過(guò)程中使用的酸性化學(xué)試劑 堿性廢氣處理 堿性廢氣主要產(chǎn)生于刻蝕工序和使用氨水的工藝過(guò)程中 有機(jī)廢氣處理 有機(jī)廢氣主要來(lái)自光刻 活性炭吸附法:利用多孔固體吸附劑來(lái)處理有機(jī)廢氣,通過(guò)化學(xué)鍵力或分子引力充分吸附有害成分,并將其吸附在吸附劑的表面,從而達(dá)到凈化有機(jī)廢氣的目的。當(dāng)活性炭吸附飽和后,可采用熱空氣或蒸汽對(duì)活性炭進(jìn)行再生處理,解吸出的高濃度有機(jī)廢氣再進(jìn)行燃燒或催化燃燒處理 燃燒法:在揮發(fā)性有機(jī)物在高溫及空氣充足的條件下進(jìn)行完全燃燒,分解為CO2和H2O UV光解凈化法:利用高能UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧,游離氧與氧分子結(jié)合產(chǎn)生臭氧 此外 在實(shí)際應(yīng)用中,芯片廢氣處理往往采用綜合處理工藝,如“水噴淋+UV光氧+干式過(guò)濾+活性炭吸附濃縮+催化燃燒”的組合工藝 鑫藍(lán)環(huán)?div id="m50uktp" class="box-center"> ?萍迹ɡド剑┯邢薰?/span>多年來(lái)專注于芯片廢氣處理設(shè)計(jì)、制造和安裝。我們產(chǎn)品有RTO蓄熱焚燒、RCO蓄熱催化燃燒、CO催化燃燒、TO直燃爐、有機(jī)廢氣處理設(shè)備、冷凝回收、防爆除塵器、酸堿廢氣處理、濾筒除塵器、防爆除塵器、單機(jī)除塵器、倉(cāng)頂除塵器、旋風(fēng)除塵器、洗滌塔、活性炭吸附箱、靜電除油設(shè)備等。 詳情請(qǐng)撥打24小時(shí)技術(shù)服務(wù)熱線:180-6841-2162 或訪問(wèn)鑫藍(lán)環(huán)保官網(wǎng):m.msdzf.top 鑫藍(lán)環(huán)保微信公眾號(hào):ksxinlan 鑫藍(lán)環(huán)保科技(昆山)有限公司
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