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[鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)]光伏電池廢氣處理工藝-鑫藍(lán)昆山[ 2025-04-16 00:00 ]: 光伏電池生產(chǎn)過(guò)程中的廢氣主要來(lái)源于制絨、擴(kuò)散
、刻蝕
、PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）等工序
，成分復(fù)雜
，包含酸性氣體（HCl
、HF）
、氮氧化物（NOx）、揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）
、硅粉顆粒物等
。處理需兼顧高效凈化與成本控制，以下為光伏電池廢氣處理綜合方案：一
、廢氣成分及排放標(biāo)準(zhǔn) 主要污染物：酸性氣體：HCl（氯化氫）
、HF（氟化氫）。氮氧化物：NO
、NO?
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