[鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)]半導(dǎo)體含砷廢氣處理設(shè)備[ 2023-12-29 00:00 ]

  半導(dǎo)體工業(yè)是現(xiàn)代工業(yè)的重要組成部分

，其生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量的廢氣

。其中，含砷廢氣是一種難以處理的有毒廢氣

，因其含有高濃度的砷元素

，對(duì)人體和環(huán)境造成的危害性非常大。因此

，半導(dǎo)體含砷廢氣處理一直是工業(yè)領(lǐng)域的難題

。    半導(dǎo)體含砷廢氣的成分 半導(dǎo)體含砷廢氣的主要成分是砷化氫（sH3）和三甲基砷（TM）。其中

，砷化氫是一種無(wú)色

、有毒、易燃的氣體，具有強(qiáng)的損傷作用

，能破壞人體細(xì)胞的DN

，導(dǎo)致中毒；而三甲基砷則是一種有機(jī)砷化合物

，同樣具有毒性

。 半導(dǎo)體含砷廢氣的治理方法

http://m.msdzf.top/Article/bdthsfqclsb_1.html