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鑫藍(lán)環(huán)保硅烷廢氣處理方式及工藝流程

文章出處：鑫藍(lán)環(huán)保鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)網(wǎng)責(zé)任編輯：蔡作者：蔡人氣：-發(fā)表時(shí)間：2022-11-02 00:00:00【大中小】

一

、硅烷廢氣處理工藝概述

硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱(chēng)

，包括甲硅烷、乙硅烷和一些硅氫化合物

，硅烷廢氣處理采用燃燒+洗滌法凈化硅烷氣體

，系統(tǒng)內(nèi)包含：硅烷廢氣燃燒設(shè)備+濾筒除塵器+噴淋塔

。主要用于單晶硅

、多晶硅行業(yè)生產(chǎn)中產(chǎn)生的硅烷廢氣處理。

二

、工作原理

工作原理是硅烷與輸入的壓縮空氣或新風(fēng)補(bǔ)氣口補(bǔ)入的空氣接觸而自燃或發(fā)生氧化反應(yīng)

，反應(yīng)后生成大量的二氧化硅粉塵；氨氣采用洗滌塔噴淋吸收形成氨水

。內(nèi)部燃燒室采用特殊的泄壓裝置

，即使在內(nèi)部壓力突然增大的情況下仍能正常工作，同時(shí)配備了氮?dú)馊肟?div id="jfovm50" class="index-wrap">，更加大了設(shè)備的安全性

。

在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法，沉積下來(lái)的粉塵通過(guò)排渣口排出

，這使粉塵收集處理變得更容易

、更有效，后續(xù)工藝還配套了濾筒除塵技術(shù)

，進(jìn)一步去除氧化硅粉塵

，提升粉塵的治理效率。

三

、用途

主要適用于太陽(yáng)能

、光伏行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)及CVD化學(xué)氣體沉積工藝中產(chǎn)生的硅烷廢氣處理

。

鑫藍(lán)環(huán)?div id="jfovm50" class="index-wrap">？萍迹ɡド剑┯邢薰荆瑢?zhuān)注于大型工廠廢氣處理、粉塵處理

，是一家集廢氣粉塵處理系統(tǒng)設(shè)計(jì)

、制造與銷(xiāo)售為一體的生產(chǎn)廠家。主營(yíng)產(chǎn)品有RTO蓄熱焚燒

、RCO催化燃燒

、有機(jī)廢氣處理設(shè)備、防爆除塵器

、酸堿廢氣處理設(shè)備

、脈沖濾筒除塵器、脈沖布袋除塵器

、單機(jī)除塵器

、倉(cāng)頂除塵器、旋風(fēng)除塵器

、噴淋塔

、活性炭吸附箱、靜電除油設(shè)備等

。

鑫藍(lán)環(huán)保擁有一批經(jīng)驗(yàn)豐富的研發(fā)

、設(shè)計(jì)、制造及安裝售后人員

，從現(xiàn)場(chǎng)勘察

、方案設(shè)計(jì)、產(chǎn)品制造

、設(shè)備安裝及售后服務(wù)

，建立了一套完善的制度。產(chǎn)品廣泛運(yùn)用于電子

、機(jī)械

、制藥、食品

、塑料

、汽車(chē)制造、機(jī)加工

、木業(yè)

、水泥、鋼鐵

、造船等多種行業(yè)

。工程業(yè)績(jī)已遍布上海、江蘇

、浙江

、安徽、山東、河南和江西等省份

。

如有硅烷廢氣處理方面的問(wèn)題需要解決

，歡迎與我們公司取得聯(lián)系。解決1500+企業(yè)粉塵問(wèn)題

，一廠一方案過(guò)環(huán)評(píng)

！

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