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[鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)]芯片廢氣處理方法-鑫藍(lán)環(huán)保[ 2024-11-27 00:00 ]: 芯片廢氣處理方法主要依據(jù)廢氣成分的不同而有所區(qū)別
。芯片廢氣主要包括酸性廢氣、堿性廢氣
、有機(jī)廢氣和特殊氣體
。以下是鑫藍(lán)環(huán)保對(duì)芯片廢氣處理方法的詳細(xì)闡述：酸性廢氣處理酸性廢氣主要來(lái)源于芯片清洗和蝕刻過(guò)程中使用的酸性化學(xué)試劑
，如硫酸、鹽酸
、氟化氫等
，這些過(guò)程會(huì)釋放出氟化物、硫酸霧
、氮氧化物
、氯化氫等污染物。處理方法主要采用濕式洗滌塔
，以堿性溶液為吸收液進(jìn)行中和反應(yīng)
，去除廢氣中的酸性成分。同時(shí)
，配置多級(jí)噴淋和填料層以提高凈化效率; http://m.msdzf.top/Article/xpfqclffxlhb_1.html

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