當(dāng)前位置：首頁 » 鑫藍(lán)資訊 » 鑫藍(lán)動(dòng)態(tài) » 鑫藍(lán)環(huán)保-半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理工藝

鑫藍(lán)環(huán)保-半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理工藝

文章出處：原創(chuàng)網(wǎng)責(zé)任編輯：蔡作者：蔡人氣：-發(fā)表時(shí)間：2025-08-04 00:00:00【大中小】

半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理需針對(duì)其復(fù)雜成分（酸性/堿性氣體

、VOCs
、特殊有毒氣體

、顆粒物等）設(shè)計(jì)分質(zhì)處理工藝

，結(jié)合預(yù)處理
、核心處理及末端控制

，確保達(dá)標(biāo)排放并兼顧安全與經(jīng)濟(jì)性

。以下是半導(dǎo)體廢氣處理詳細(xì)工藝解析：

一

、半導(dǎo)體廢氣類型與特性

半導(dǎo)體工藝（如光刻

、蝕刻、CVD

、PVD等）產(chǎn)生的廢氣主要分五類：

酸性廢氣：HCl

、HF、H2SO4

、HNO3等（來自蝕刻

、清洗工藝），腐蝕性強(qiáng)

，需中和處理

。

堿性廢氣：NH3（來自氮化、清洗）

，需酸化中和

。

有機(jī)廢氣（VOCs）：異丙醇（IPA）、丙酮

、光刻膠溶劑等（光刻
、顯影工藝），易揮發(fā)
、有異味
，需控制VOCs排放。

特殊有毒/可燃?xì)怏w：SiH4（硅烷）

、PH3（磷烷）、B2H6（硼烷）等（CVD工藝）
，易燃易爆且劇毒
，需安全銷毀。

顆粒物：工藝副產(chǎn)物（如CVD中的硅顆粒）

、設(shè)備磨損粉塵
，粒徑0.1-10μm，需高效過濾
。

二

、處理原則與流程

遵循“分質(zhì)收集→預(yù)處理→分類型處理→末端治理→安全環(huán)保”的流程，核心是避免混合后反應(yīng)（如酸性+堿性氣體中和放熱）

、提升處理效率
。

三、具體處理工藝

1.酸性廢氣處理（HCl

、HF等）

原理：堿液中和（NaOH

、Ca(OH)?）
。

工藝：

廢氣收集后進(jìn)入堿液噴淋塔，酸性氣體與堿液充分接觸

，發(fā)生中和反應(yīng)：

HCl+NaOH→NaCl+H2O

HF+NaOH→NaF+H2O

噴淋液（含鹽廢液）需定期更換

，交由危廢處置單位處理。

2.堿性廢氣處理（NH3等）

原理：酸液中和（H2SO4

、HNO3）
。

工藝：

廢氣進(jìn)入酸液噴淋塔，NH3與酸反應(yīng)生成鹽：

2NH3+H2SO4→(NH4)2SO4

酸液需控制濃度

，避免過量引入其他污染物（如SO?）
。

3.有機(jī)廢氣（VOCs）處理

半導(dǎo)體VOCs多為低濃度（100-1000ppm）、大風(fēng)量

，需濃縮后處理

，常見工藝：

活性炭吸附+脫附催化燃燒：

吸附：VOCs被活性炭孔隙吸附，飽和后用熱氮?dú)?蒸汽脫附

，濃縮5-15倍
。

催化燃燒：濃縮后的VOCs進(jìn)入催化燃燒裝置（貴金屬催化劑，如Pt/Pd）

，在200-400℃下氧化為CO?和H?O
，能耗低、無二次污染
。

沸石轉(zhuǎn)輪濃縮+催化燃燒/RTO：

沸石轉(zhuǎn)輪（蜂窩狀多孔材料）吸附低濃度VOCs

，脫附區(qū)用熱空氣（180-220℃）脫附，濃縮10-20倍
。

濃縮后的高濃度VOCs進(jìn)入催化燃燒（低溫氧化）或蓄熱式熱力焚燒（RTO）（高溫850-950℃分解

，效率＞99%），適合大風(fēng)量場景
。

4.特殊有毒/可燃?xì)怏w處理（SiH4

、PH3等）

此類氣體易燃（爆炸極限寬）、劇毒

，需徹底銷毀
，核心工藝：

催化燃燒法：

催化劑（Al?O?負(fù)載Pt/Pd）降低反應(yīng)溫度（300-500℃），SiH4氧化為SiO?和H?O

，PH3氧化為P?O?和H?O：SiH4+2O2

催化劑SiO2+2H2O2PH3+4O2

催化劑P2O5+3H2O

安全性高（避免熱力燃燒的高溫風(fēng)險(xiǎn)）

，催化劑需定期再生。

等離子體分解法：

高壓電場產(chǎn)生高能等離子體（電子

、離子
、自由基），分解氣體為無害物質(zhì)，適用于低濃度
、難燃?xì)怏w（如NF3）
。

5.顆粒物處理

半導(dǎo)體顆粒物粒徑小（0.1-1μm為主）

，需高效過濾：

HEPA過濾器：過濾效率≥99.97%（對(duì)0.3μm顆粒）

，用于潔凈室末端，避免顆粒影響產(chǎn)品良率
。

濕式洗滌塔：利用液滴捕集親水性顆粒（如硅顆粒）

，適合預(yù)處理階段（與酸性/堿性廢氣協(xié)同處理）。

四

、預(yù)處理工藝

預(yù)處理是核心處理的前提

，解決溫度、濕度

、顆粒物等問題：

降溫：高溫廢氣（如CVD工藝

，150-300℃）通過換熱器或冷卻塔降溫至＜60℃，避免活性炭失效或燃燒風(fēng)險(xiǎn)

。

除塵：旋風(fēng)分離器（大顆粒）

、布袋除塵器（中顆粒）或濕式洗滌塔（小顆粒）去除粉塵，防止噴淋塔堵塞或活性炭孔隙堵塞

。

除濕：冷凝器或干燥劑降低廢氣濕度（＜80%）

，避免酸性/堿性廢氣中和時(shí)生成鹽霧，或影響活性炭吸附效率

。

五

、安全與環(huán)保措施

防爆設(shè)計(jì)：處理可燃?xì)怏w（SiH4、H2）時(shí)

，設(shè)備（管道

、燃燒器）需防爆，控制氧氣含量（避免爆炸極限）

，設(shè)置泄爆裝置
。

副產(chǎn)物管理：噴淋廢液（含鹽、重金屬）

、飽和活性炭、催化劑等屬危廢
，需分類收集
，交由有資質(zhì)單位處置。

排放監(jiān)測：安裝在線監(jiān)測系統(tǒng)（CEMS）

，實(shí)時(shí)監(jiān)測SO?
、NOx、VOCs、顆粒物等指標(biāo)
，確保符合《半導(dǎo)體器件制造業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB 39731）及地方標(biāo)準(zhǔn)
。

六、典型工藝流程示例

酸性廢氣流程：收集→降溫→除塵→堿液噴淋塔→排放

。

有機(jī)廢氣流程（低濃度）：收集→除濕→沸石轉(zhuǎn)輪濃縮→催化燃燒→排放

。

混合廢氣流程：分質(zhì)收集（酸性走噴淋，有機(jī)走濃縮+燃燒）

，或先處理酸性再處理有機(jī)（需驗(yàn)證交叉影響）

。

總結(jié)

半導(dǎo)體廢氣處理需結(jié)合廢氣特性（成分、濃度

、風(fēng)量）選擇工藝

，強(qiáng)調(diào)“分質(zhì)處理、預(yù)處理優(yōu)先

、安全第一”

，通過中和、吸附濃縮

、催化燃燒等技術(shù)實(shí)現(xiàn)高效治理

，同時(shí)滿足環(huán)保法規(guī)和安全生產(chǎn)要求。

鑫藍(lán)環(huán)?div id="jfovm50" class="index-wrap">？萍迹ɡド剑┯邢薰?/span>多年來專注于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)計(jì)

、制造和安裝。我們產(chǎn)品有RTO蓄熱焚燒

、RCO蓄熱催化燃燒

、CO催化燃燒、TO直燃爐

、有機(jī)廢氣處理設(shè)備

、冷凝回收、防爆除塵器

、酸堿廢氣處理

、濾筒除塵器、防爆除塵器

、單機(jī)除塵器

、倉頂除塵器、旋風(fēng)除塵器

、洗滌塔

、活性炭吸附箱、靜電除油設(shè)備等

。

詳情請(qǐng)撥打24小時(shí)技術(shù)服務(wù)熱線：180-6841-2162

或訪問鑫藍(lán)環(huán)保官網(wǎng)：m.msdzf.top

鑫藍(lán)環(huán)保微信公眾號(hào)：ksxinlan

鑫藍(lán)環(huán)?div id="jfovm50" class="index-wrap">？萍迹ɡド剑┯邢薰?/strong>

服務(wù)熱線：4008-616-212

電話：0512-55186759

E-mail：ycw26688@126.com

地址：昆山市千燈鎮(zhèn)紅星路20號(hào)

下一篇：已經(jīng)是最后一篇了上一篇：炒灰機(jī)脈沖布袋除塵器工藝-鑫藍(lán)環(huán)保

此文關(guān)鍵字：半導(dǎo)體廢氣處理

相關(guān)資訊

風(fēng)機(jī)運(yùn)行時(shí)噪音大
？這個(gè)配置你組裝了嗎
？
濕式防爆文丘里除塵器適用于哪些工況
酸洗廢氣處理方案的選擇取決于產(chǎn)生的廢氣成分和排放要求
PVC壓延薄膜和發(fā)泡人造革廢氣產(chǎn)生原因
、處理設(shè)備簡介
記住鑫藍(lán)環(huán)保濕式除塵器這些優(yōu)點(diǎn)，大家都會(huì)用這個(gè)產(chǎn)品
鑫藍(lán)環(huán)保一站式除塵設(shè)備廠家
選擇工業(yè)粉塵處理設(shè)備需要考慮的幾個(gè)因素
脈沖布袋除塵設(shè)備的這些特點(diǎn)你了解多少
廢氣處理的環(huán)保達(dá)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)
釀酒廠制造過程中產(chǎn)生哪些廢氣和處理工藝

推薦產(chǎn)品

防爆除塵器
靜電除油設(shè)備
酸霧吸收塔

同類文章排行

炒灰機(jī)脈沖布袋除塵器工藝-鑫藍(lán)環(huán)保
鑫藍(lán)環(huán)保-半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理工藝
鑫藍(lán)環(huán)保表面處理工藝廢氣處理
金屬工業(yè)品加工產(chǎn)生揮發(fā)性氣體如何處理
304不銹鋼噴淋塔有哪些特點(diǎn)和優(yōu)勢
選擇噴淋洗滌塔需要考慮哪些因素
烘爐廢氣處理工藝-鑫藍(lán)環(huán)保
鑫藍(lán)環(huán)保低溫觸媒技術(shù)：顛覆傳統(tǒng)CO爐的VOCs治理創(chuàng)新
印染廢氣處理工藝-鑫藍(lán)環(huán)保
注塑行業(yè)廢氣可以用哪些處理工藝

資訊文章

您的瀏覽歷史

全國服務(wù)熱線

4008-616-212

鑫藍(lán)環(huán)保-半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理工藝

相關(guān)資訊

推薦產(chǎn)品

同類文章排行

資訊文章

您的瀏覽歷史